相关文章

电子、光电子工业无尘车间参数要求

来源网址:

电子、光电子工业无尘车间参数要求

电子、光电子工业无尘车间参数要求

深圳市中建南方净化设备有限公司专业的电子,光电子工业无尘车间设计,安装,施工,维护的知名企业,中建南方从事无尘车间工程10多年,以下是公司对电子制造无尘车间在生产工序上空气洁净度和无尘车间温湿度及压差的简单汇总。敬请指导:

产品工序

空气洁净度等级

(级)

温度

(℃)

相对湿度

(%)

相对低级别

洁净室的正压(Pa)

半导体材料

拉单晶

4~5(0.3µm)

23±2

45±5

≥5

切、磨、抛

5~7(0.3µm)

23±2

45±5

≥5

清洗

4~7(0.3µm)

23±2

45±5

≥5

外延

3~5(0.3µm)

23±2

45±5

≥5

芯片制造(前工序)

氧化、扩散、清洗、刻蚀、薄膜,离子注入

2~5

(0.1~0.3µm)

23±1

45±5

≥5

光刻

1~4(0.1~0.3)

22±0.1

23±1

45±5

≥5

检测

3~6(0.1~0.3)

23±2

45±5

≥5

设备区

6~8(0.1~0.3)

23±5

45±10

≥5

封装(后工序)

划片,键合

5~7(0.3)

21±1

50±5

≥5

封装

6~8(0.3)

23±1

50±5

≥5

TFT

LCD

薄膜光刻、刻蚀、剥离

2~3(0.1)

23±1

45±5

≥5

涂复

1~3(0.1)

23±1

45±5

≥5

模块

4~5(0.3)

23±2

45±10

≥5

组装

6~7(0.3)

23±2

45±5

≥5

STN-LCD

6~7(0.3)

(局部5级)

23±2

45±5

≥5

HDD

制造区

3~4(0.1)

23±1

45±5

≥5

其他区

6~7(0.3)

23±1

45±10

≥5

PDP

核心区

5(0.3)

23±1

45±5

≥5

支持区

6~7(0.3)

23±2

45~60

≥5

锂电池

干工艺区

6~7(0.5)

23±2

2

≥5

其他区

7~8(0.5)

23±2

15

≥5

彩色

显象管

涂屏电子枪装配荧光粉

7(0.5)

23±2

45±5

≥5

锥子墨涂复荫罩

8(0.5)

23±2

45±5

≥5

电子

仪器

微型计算机装配

8(0.5)

20~23±2

/

≥5

印制

线路板

照像、制版,干膜

7~8(0.5)

22±2

40~60

≥5

光导

纤维

预制棒

6~7(0.3)

24±2

50±5

≥5

拉丝

5~7(0.3)

22±1

50±5

≥5

光盘制造

6~8(0.3)

23±1

50±10

≥5

高密度磁带制造

6~8(0.5)

(局部5级)

23±1

50±10

≥5

磁头生产

核心区

5(0.3)

23±2

60±5

≥5

清洗区

6(0.3)

21±2

< 70

≥5